江州，地下三层，极光实验室。
这里是全中国最安静的地方。
为了防止震动，地基往下挖了三十米，灌注了整块的钢筋混凝土。甚至连几公里外地铁停运的时间，都要配合这里的实验进度。
巨大的无尘车间里，那台传说中的3纳米光刻机正在进行最后的总装。
它像一座银色的小山，矗立在房间中央。
林远穿着白色的防尘服，只露出一双眼睛，站在控制台前。
“现在进行最关键的一步，”王海冰的声音通过耳机传来，带着明显的紧张，“物镜入座。”
那个由山田光一设计，用“数据欺骗”换来时间、经过无数次打磨才造出来的巨型镜头组重达1.5吨，正被一台高精度的机械吊臂缓缓吊起。
它要被放进光刻机的主框架里。
这个过程，就像是把一头大象放进冰箱，而且大象的皮肤不能碰到冰箱壁哪怕一下。
间隙只有0.5毫米。
“慢点……再慢点……”
负责操作吊臂的是一位在这个行业干了三十年的老技师，他的手稳得像铁钳。
镜头缓缓下降。
还有十厘米。
还有五厘米。
突然。
“滴——！滴——！滴——！”
红色的警报灯毫无征兆地亮起，刺耳的声音在封闭的车间里回荡。
“停！快停！”王海冰大吼。
老技师猛地锁死吊臂，镜头悬在半空，微微晃动。
“怎么回事？”林远冲过去。
“震动超标！”王海冰指着监控屏幕。
屏幕上，一条原本应该是直线的波形图，此刻正在疯狂跳动，像是一条受惊的蛇。
“地面在震动？”林远问。
“不，不是地面。”王海冰脸色惨白，“是减震台。”
光刻机不是直接放在地上的，而是放在一个巨大的“主动减震台”上。这个台子就像汽车的空气悬挂，能把地面的震动过滤掉。
这套减震系统，是以前从欧洲一家顶级公司买的，花了上千万。
“减震台疯了。”王海冰检查着数据，“它不仅没有消除震动，反而……在制造震动！”
“它在自己抖！”
这台光刻机有四条腿减震支柱。
此时，这四条腿像是不听使唤一样，毫无规律地上下乱跳。虽然幅度很小，肉眼看不见，但在纳米级的传感器眼里，这就是一场八级大地震。
如果在这种震动下把镜头放进去，瞬间就会磕碰，价值几亿的镜头就碎了。
“重启系统！”
“没用！重启了三次，还是抖！”
“断网！是不是被黑客攻击了？”
“网线早就拔了！”
王海冰急得满头大汗，拆开了减震器的控制盒。
“林董，你看。”
控制盒里，一颗红色的指示灯在诡异地闪烁。
“这是锁死模式。”
汉斯凑过来看了一眼，叹了口气。
“这是厂家的后门。”
“这种高端设备，都有地理围栏和远程锁死功能。虽然我们拔了网线，但它内部有时钟芯片。”
“只要到了特定的时间，或者长期没连上厂家的服务器进行授权验证，它就会自动进入故障模式。”
“以前我们还能通过代理商买解锁码。”
“但现在……”汉斯苦笑，“欧洲那边肯定收到了警告，代理商失联了。”
林远明白了。
这是敌人的暗雷。
他们知道你造出了镜头，知道你要总装了，所以在这个节骨眼上，引爆了埋在设备里的雷。
没有减震台，光刻机就是个瞎子、瘸子，根本没法工作。
“能破解吗？”林远问。
“很难。”王海冰摇头，“这控制芯片是加密的，强行破解会烧毁电路板。而且我们没有备件，烧了就彻底瘫痪了。”
“买国产的呢？”
“国产的减震台，是用在普通机床上的。精度差了两个数量级。用在光刻机上，就像让刘翔穿拖鞋跑步，根本不行。”
死局。
一台几亿的机器，被四条腿给绊倒了。
林远看着那悬在半空的镜头，又看了看那还在乱抖的减震台。
“既然这洋玩意儿不听话……”
林远眼中闪过一丝狠厉。
“那就把它——锯了！”
“什么？！”在场的所有人都惊呆了。
“锯了这四条腿！”林远指着减震器，“既然它是个祸害，留着干什么？”
“可是……锯了以后，机器放哪？”王海冰急了，“直接放地上？那震动根本没法控制啊！外面过辆卡车，里面的光路就歪了！”
“谁说要放地上了？”
林远转身，拨通了一个电话。
“中车集团做高铁的那家吗？我是林远。”
“我要借你们的人，还有你们的技术。”
“什么技术？”
“磁悬浮。”
十二小时后。
一支穿着蓝色工装的队伍，风尘仆仆地赶到了实验室。领头的是一位搞了一辈子磁悬浮列车的总工程师，老张。
老张看着光刻机，一脸懵。
“林董，您是说，您想把这几十吨重的大家伙，像磁悬浮列车一样，浮起来？”
“对。”林远点头。
“既然液压减震洋设备靠不住，那我们就用磁力。”
“磁悬浮列车能让几十吨的车厢平稳地浮在轨道上，跑出600公里。那让这台机器浮在底座上，不动，应该更简单吧？”
老张挠了挠头。
“原理是一样的。都是利用磁铁同性相斥或者电磁吸力。”
“但是，列车是在一条线上浮，您这个是在一个点上浮。而且，您的精度要求太高了。”
“列车浮动误差几毫米没事，您这个……要求纳米级？”
“对，纳米级。”林远说，“而且要能主动抵消地面的震动。”
“这……”老张有些为难，“我们的控制系统是用来跑车的，没搞过这么精细的微调。”
“控制系统我来搞！”
汪韬站了出来。
“你们负责把磁铁和线圈装上去，负责让它浮起来。”
“我负责写算法，控制电流的大小，让它稳住！”
这就好比：中车负责造“腿”，汪韬负责造“小脑”。
“干！”老张也是个爽快人，“既然洋鬼子卡脖子，那咱们就用修火车的法子，给它治治病！”
接下来的48小时，是一场跨界的疯狂实验。
原本精密的减震器被暴力拆除，扔到了废品堆里。
取而代之的，是四组巨大的、从磁悬浮列车实验室拆下来的超导电磁线圈。
“这也太土了吧……”
看着那些粗大的铜线圈，还有旁边临时搭建的水冷管子，王海冰有点哭笑不得。这画风，跟高大上的光刻机完全不搭。
“土不可怕，管用就行。”林远盯着安装进度。
“通电！”
巨大的电流涌入线圈。
“嗡——”
低沉的磁力轰鸣声响起。
那台重达几十吨的光刻机主框架，竟然真的——缓缓离开了地面！
它悬浮在半空中，就像一座空中楼阁。
“浮起来了！”工人们欢呼。
但问题随之而来。
因为它浮起来了，没有任何接触，所以它像水面上的船一样，开始晃荡。
稍微碰一下，它就晃个不停。
“这不行啊！”老张急了，“这么晃，镜头根本装不进去！”
“看我的。”
汪韬坐在电脑前，十指如飞。
“启动主动阻尼算法！”
他在光刻机的四周，安装了十几个高灵敏度的激光位移传感器。
传感器一旦检测到机器往左晃了0.001毫米。
电脑立刻控制右边的线圈，电流加大一点点，产生一个反向的磁力，把它推回来！
这叫——“以动制动”。
“参数修正……pId增益调大……”
屏幕上，原本波浪一样的晃动曲线，开始慢慢变平。
一分钟后。
那台悬浮在空中的机器，突然定住了。
纹丝不动。
就像被施了定身法。
有人试着伸手推了一下机器，机器就像生了根一样，毫无反应。其实是磁力瞬间反推了回来。
“稳了！”汪韬大喊，“震动幅值：0.01微米！比原来的洋设备还稳十倍！”
“这就是磁悬浮的威力！没有机械接触，就没有摩擦，反应速度无限快！”
老张看着这一幕，竖起了大拇指：“还得是你们搞It的脑子快。我们搞了一辈子车，也没想到能这么玩。”
地基稳了。
现在，要把那个1.5吨重的镜头，放进去了。
这是最后的一关，也是最惊险的一关。
因为镜头是玻璃做的萤石，框架是金属做的。两者之间的间隙极小。
一旦在放入的过程中，稍微歪一点点，或者手抖一下。
咔嚓。
几个亿就没了。
“吊臂不行。”王海冰看着那台机械吊臂，“它太粗糙了，微动控制不好。刚才就是它差点撞上。”
“那怎么办？人抬？”
“1.5吨，人抬不动。”
林远看着那个悬在半空的镜头，又看了看下面的磁悬浮底座。
“既然底座能浮……”
“为什么镜头不能浮？”
“什么意思？”众人不解。
“我们不用吊臂往下放。”
林远做了一个向上托举的手势。
“我们把镜头放在一个气垫上，让它飘进去。”
“气浮导轨。”
林远指挥大家，在光刻机的安装孔位上，临时搭建了一个滑梯一样的气浮轨道。
利用高压气体，在轨道表面形成一层气膜。
那个巨大的镜头，被放在了气膜上。
摩擦力几乎为零。
只需要一根手指头轻轻一推，那个1.5吨的庞然大物，就顺滑地向前滑动。
“慢点……慢点……”
山田光一那位投诚的日本专家亲自趴在旁边指挥，眼泪都快流下来了。他这辈子没见过这么野路子的装配方法，但不得不承认，这真他妈稳！
镜头顺着气轨，一点一点地滑进了安装孔。
“到位！”
“锁紧！”
螺栓拧紧的声音，在此时听起来简直是天籁。
“安装完成！”
全场掌声雷动。
他们用修火车的技术磁悬浮，加上搬运工的智慧气浮，完成了一次世界级的精密装配。
所有部件归位。
光源SSmb、光路FSm、镜头high-NA、工件台磁悬浮。
“通电自检。”
屏幕上，一个个绿色的“oK”亮起。
“光源注入。”
一道深紫色的光，穿过复杂的透镜组，最终投射在底部的硅片上。
显微镜下。
一条条清晰、锐利的电路图案显现出来。
线宽：5纳米。
虽然离3纳米还有差距，但这已经是目前国产设备的极限，也是世界第二的水平仅次于ASmL的EUV。
“我们做到了……”
王海冰瘫坐在地上，浑身湿透。
林远看着那台发出幽幽蓝光的机器，心中并没有太多激动。
他知道，这台机器虽然造出来了，但它是个“缝合怪”。
用了核电站的技术、高铁的技术、化工的技术、甚至土木工程的技术。
它笨重、昂贵、难以维护。
但它有一个最大的优点——它是我们自己的。
每一个螺丝，每一行代码，都是我们自己搞定的。
没人能再关掉它。
“顾盼，”林远走出实验室，摘下口罩，“给那些还在观望的国内芯片厂发个消息。”
“告诉他们，如果不想要美国的许可证，就来找我。”
“我有更便宜、更听话的机器。”
“还有，”林远停下脚步，看向东方，“那个日本特工带回去的假数据，应该已经开始发挥作用了吧？”
“是的。”顾盼坏笑，“情报显示，东和财团刚刚宣布，他们的光刻机项目取得了重大突破，准备投入巨资量产。”
“很好。”
林远嘴角勾起一抹冷笑。
“让他们造。”
“等他们把钱都砸进那个坑里，发现造出来的是一堆废铁的时候……就是我们收网的时候。”
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